Khối mục tiêu titan

Các tạp chất trong chất rắn của khối mục tiêu titan và oxy và độ ẩm trong lỗ chân lông là nguồn ô nhiễm chính trong các màng lắng đọng. Mục tiêu cho các ứng dụng khác nhau có các yêu cầu khác nhau cho các nội dung tạp chất khác nhau. Ví dụ, các mục tiêu hợp kim nhôm và nhôm tinh khiết cho ngành công nghiệp bán dẫn có các yêu cầu đặc biệt đối với nội dung kim loại kiềm và nội dung yếu tố phóng xạ.

Để giảm các lỗ chân lông trong các chất rắn mục tiêu và cải thiện hiệu suất của các màng phun, mục tiêu thường được yêu cầu phải có mật độ cao. Mật độ của mục tiêu không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ phun mà còn ảnh hưởng đến các tính chất điện và quang học của bộ phim. Mật độ mục tiêu càng cao, hiệu suất của bộ phim càng tốt. Ngoài ra, việc tăng mật độ và cường độ của mục tiêu cho phép mục tiêu chống lại các ứng suất nhiệt của quá trình phun. Mật độ cũng là một trong những chỉ số hiệu suất chính của vật liệu mục tiêu, kích thước hạt và phân phối kích thước hạt.
Thông thường mục tiêu là cấu trúc đa tinh thể, kích thước hạt có thể từ micron đến milimet. Đối với cùng một loại mục tiêu, tốc độ phun của mục tiêu với các hạt mịn nhanh hơn so với mục tiêu với các hạt thô; và sự phân bố độ dày của màng được lắng đọng bằng cách phun mục tiêu với sự khác biệt nhỏ về kích thước hạt (phân phối đồng đều) là đồng đều hơn.